Raith EBL光刻機(jī)隔振方案

ARISMD主動(dòng)隔振系統(tǒng)/主動(dòng)式減震臺(tái)/主動(dòng)防震臺(tái)，模塊化主動(dòng)隔振系統(tǒng)，可采用填充式安裝方式，適用于大型光刻機(jī)、球差透射電子顯微鏡、EBL電子束曝光機(jī).......

背景：微電子微納米加工應(yīng)用

使用單位：Infinroe

設(shè)備型號(hào)：Raith EBPG5200 Plus

隔振方案：ARISMD1000 Pro主動(dòng)隔振系統(tǒng)/主動(dòng)式減震臺(tái)/主動(dòng)防震臺(tái)

ARISMD Pro主動(dòng)隔振系統(tǒng)/主動(dòng)減震系統(tǒng)/主動(dòng)防震系統(tǒng)

緊湊型模塊化主動(dòng)隔振系統(tǒng)，能夠抵消影響超高精密設(shè)備或工具的振動(dòng)，多個(gè)獨(dú)立的隔振器可承受高達(dá)4000Kg的大型設(shè)備負(fù)載，安裝簡(jiǎn)易靈活，無(wú)需抬高及重新校準(zhǔn)。

主要優(yōu)勢(shì)：

?1. 6自由度隔振

?2. 0.5Hz開(kāi)始隔振有效增益

?3. 可變阻尼

?4. 內(nèi)置人工智能功能

?5. 主動(dòng)隔振頻率范圍可調(diào)整

?6. 遠(yuǎn)程控制

?7. 內(nèi)置實(shí)時(shí)診斷工具（頻譜分析儀、示波器）

?8. 震動(dòng)模式（可選）

應(yīng)用領(lǐng)域：

?1. 電子顯微鏡（SEM、TEM、FIB、EBL、DualBeam）

?2. 半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備（光刻機(jī)、晶圓測(cè)試儀、電子束曝光機(jī)、CD_SEM）

?3. 掃描隧道顯微鏡/STM、掃描探針顯微鏡SPM、大型原子力顯微鏡/AFM

?4. X-Ray、CT、MPI

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規(guī)格參數(shù)：

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