CBTZ半自動探針臺
可測片型:3 寸、?4寸、5寸,6寸、8寸
測試硅片單元尺寸:20—200 mil
定位精度:≤?±0.01mm/110mm
自動對準(zhǔn)精度:±0.01mm
誤測率:≤?1 ‰
全自動對位時間:≤?15 s
測試速度 45 mil ? 5.0 pcs/s
50 mil ? 4.6 pcs/s
87 mil ? 4.2 pcs/s
步進分辨率:0.001
Z向行程:0~5mm?可調(diào)
承片臺轉(zhuǎn)角θ調(diào)節(jié)范圍:±20o
CBTZ-3100Z型自動對位探針臺能對晶片實現(xiàn)自動對位測試,操作簡單,快捷,測試精度高,具有MAP顯示功能。它與測試儀連接后,能自動完成對各種晶體管芯的電參數(shù)測試及功能測試 。
CBTZ型自動對位探針臺
提供了清晰直觀的觸屏操作頁面,
手觸點擊即可完成對晶片的自動對位測試。
除此之外還提供了更加簡潔 方
便的小鍵盤操作方式,操作者可依據(jù)
個人偏好和習(xí)慣選擇任意種操作 。
機器軟件的操作界面
功能小鍵盤
具有自動掃描對位功能,對位精度高、速速快,Windows7界面,動態(tài)map圖顯示測試過程。
具有圓形測試,范圍重測,探邊
測試,范圍打點,回收測試,矩形測試和脫機打點多種測試功能。
具有X、Y、Z三軸運動結(jié)構(gòu),操作軟
具有Z軸行程分段運動功能,其
過沖高度和折回高度,并且具有探邊
測試針痕比例圖片(反光白點為針痕)
多芯粒 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 單芯粒
應(yīng)用案例: