型號

基本參數(shù)

2英寸

4英寸

6英寸

樣品固定

彈簧壓片

觀察窗口

2英寸

4英寸

6英寸

真空度

10^-5torr

探針臂接口

最多4個(gè)探針臂接口

最多6個(gè)探針臂接口

其他接口

電信接口、真空接口、光纖接口、冷源接口

溫控系統(tǒng)

制冷方式

液氮/液氣/制冷機(jī)

溫度范圍

77K?到?573K/4.5K?到?573K

溫控精度

0.1K/0.01K/0.001K

穩(wěn)定性

±1K/±0.1K/±0.01K

顯微鏡類型

單筒顯微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡

放大倍率

16X-200X/20X-4000X

移動行程

水平360度旋轉(zhuǎn)，Z軸行程50.8mm

光源

外置LED環(huán)形光源/同軸光源

CCD

200萬像素/500萬像素/1200萬像素

探針臂

X-Y-Z移動行程

50mm*50mm*50mm

結(jié)構(gòu)

外置探針臂，真空波紋管結(jié)構(gòu)

移動精度

10微米/I微米

探針夾具

線纜

同軸線/三軸線/射頻線

漏電精度

10pA/100fA/10fA

固定探針

彈簧固定/管狀固定

接頭類型

BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子

探針

頻率支持

DC-110GHz

針尖直徑

0.2微米/I微米/2微米/5微米/10微米/20微米

材質(zhì)

鎢鋼/鈹銅

真空組件

分子泵組/機(jī)械泵/離子泵

冷源組件

50L/100L液氮罐/液氮罐/制冷機(jī)

外形

880mm?長*880mm?寬*600mm?高

980mm?長*980mm?寬*600mm?高

重量

約100千克

約120千克

可選附件

超高溫配件

屏蔽箱

高壓測試配件

顯示器

光學(xué)平臺

分子泵組

轉(zhuǎn)接頭

鍍金卡盤

激光系統(tǒng)

射頻測試配件

光電測試配件

氣敏測試配件

根據(jù)客戶要求定制